启芯科技

碳化硅涂层石墨零部件
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关于启芯科技
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启芯科技(东莞)有限公司成立于松山湖,公司成立以来主要研发、生产、销售用于半导体设备的碳化硅涂层石墨零部件产品,并提供相关碳化硅涂层服务,主要产品可用于碳化硅(SiC)外延设备、MOCVD设备、硅(Si)外延设备等多种半导体设备反应腔内,公司产品及服务广泛应用于半导体及泛半导体领域。

同时,公司通过工艺改进提升、新产品研发等手段挖掘市场需求,坚持开发一代、储备一代、销售一代的发展战略,积极开展外延、刻蚀、氧化扩散和晶体生长等半导体设备用实体碳化硅零部件、烧结碳化硅零部件和碳化钽涂层石墨零部件等新产品研发,并陆续进入试制、验证阶段。公司致力于成为全球半导体设备零部件、材料领域的一流企业,持续推动半导体关键碳化硅零部件的技术进步。

启芯科技立志成为全球先进的材料提供商,我们通过在原子级层面改变材料的技术,为客户提供工程材料解决方案,致力于为泛半导体客户提供优质的产品。


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上防护片-左
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过渡件
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下防护件-右
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圆环件
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中央防护件
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下防护件-左
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上半月件
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上防护件-右
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